Материальная база

Списки объектов по подразделениям

Все | НОЦ ГДИ | ОНИЛ-1 | НТЦ КМ | НИИ-219 | ИПИТ-216 | НИИ-202 | НИЛ-41 | НИЛ-97 | НИИ-201 | НИЛ-57 | НИЛ-98 | НОЦ НТ-94 | НИИ-204 | ОНИЛ-5 | Лаборатория аддитивных технологий | НИЛ-37 | ОНИЛ-4 | НИЛ-35 | НИЛ-39 | НИЛ-43 | НИЛ-53 | НИЛ-55 | Лаборатория коррозии, старения и биоповреждения материалов и сложных технических систем | Лаборатория быстрого прототипирования | МНИЦ-301 | ИКП-214 | НОЦ-218 | НГ КАФ-306 | НГ КАФ-307 | НОЦ ФНОС | ЦКП "Межвузовский медиацентр города Самара" | | | | ЦКП "Научно-образовательный центр лазерных систем и технологий" | ЦКП "Учебно-научный производственный центр "Вибрационная прочность и надежность аэрокосмических изделий"

НОЦ НТ-94

  • Сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НТК-4 НАНОФАБ-100

    Сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НТК-4 НАНОФАБ-100

    Производитель: НТ-МДТ, г. Зеленоград

    Место расположение: Корпус 14, ауд. 113

    Назначение:
    Локальное травление поверхности пластин металлов, полупроводников и диэлектриков размером до 100х100 мм сфокусированным ионным пучком с разрешением до 10 нм и рабочим полем до 400х400 мкм. Установка используется для создания микро и наноструктур в любых материалах подложки. Создание микро и наноструктур для нанофотоники и микросистемной техники, наносенсорики.

    Основные технические характеристики:
    Максимальный размер записываемой топологии 400х400 мкм.
    Разрешение максимальное 10 нм.

  • Растровый электронный микроскоп FEI Quanta 200

    Растровый электронный микроскоп FEI Quanta 200

    Производитель: FEI

    Место расположение: Корпус 14, ауд .113

    Назначение:
    Исследование поверхности пластин и сколов с разрешением до 1 нм, проведение электронно-лучевой литографии. Прибор используется для исследования топологии наноматериалов и изучения физических свойств на наноуровне, также приставка электронной литографии позволяет использовать микроскоп для изготовления наноструктур. Исследование топологии микро- и наноструктур, создание наноструктур для нанофотоники и микросистемной техники, наносенсорики.

    Основные технические характеристики:
    Максимальное разрешение 3.2 нм.

  • Сканирующий спектрофотометр Shimadzu UV-2450PC

    Сканирующий спектрофотометр Shimadzu UV-2450PC

    Производитель: Shimadzu

    Место расположение: Корпус 18 (Научный корпус), ауд. 205

    Назначение:
    Измерение оптических спектров пропускания и поглощения жидких и твердых образцов в диапазоне 190 – 1100 нм с разрешением 0,05 – 0,5 нм. Прибор используется для исследований в области нанофотоники и исследования наноматериалов. Исследование спектров пропускания и поглощения для определения оптических свойств материалов.

    Основные технические характеристики:
    Максимальное спектральное разрешение 0.5 нм.

  • ИК Фурье-спектрометр Shimadzu IRPrestige-21

    ИК Фурье-спектрометр Shimadzu IRPrestige-21

    Производитель: Shimadzu

    Место расположение: Корпус 18 (Научный корпус), ауд. 205

    Назначение:
    Измерение оптических спектров пропускания, отражения и поглощения жидких и твердых образцов в диапазоне 800 – 25000 нм с разрешением 0,5 – 20 нм. Прибор используется для исследований в области нанофотоники и исследования наноматериалов. Исследование спектров пропускания и поглощения для определения оптических свойств материалов.

    Основные технические характеристики:
    Максимальное спектральное разрешение 0.5 нм.

  • Универсальный СЗМ комплекс Интегра-Томо

    Универсальный СЗМ комплекс Интегра-Томо

    Производитель: НТ-МДТ, г. Зеленоград

    Место расположение: Корпус 14, ауд. 113

    Назначение:
    Исследования поверхности пластин диаметром до 40 мм с разрешением до 0,2 – 0,3 нм методами атомно-силовой и туннельной микроскопии, измерение шероховатости. Прибор используется для определения топологии поверхности наноматераилов и изучения ее физических свойств на наноуровне. Исследование топологии микро и наноструктур наноматериалов и функциональных наноустройств.

    Основные технические характеристики:
    Максимальное латерально разрешение До 5 нм.

  • Установка магнетронного напыления ЭТНА-100-МТ

    Установка магнетронного напыления ЭТНА-100-МТ

    Производитель: НТ-МДТ, г. Зеленоград

    Место расположение: Корпус 14

    Назначение:
    Установка используется для получения функциональных нанопокрытий из различных материалов с помощью магнетронного распыления материалов мишеней металлов, диэлектриков и полупроводников в плазме постоянного тока в инертном газе. Нанесение многослойных покрытий. Получение нанопокрытий.

    Основные технические характеристики:
    Точность нанесения покрытий 1 нм.

  • Установка плазмохимического травления и осаждения ЭТНА-100-ПТ

    Установка плазмохимического травления и осаждения ЭТНА-100-ПТ

    Производитель: НТ-МДТ, г. Зеленоград

    Место расположение: Корпус 14

    Назначение:
    Плазмохимическое травление и очистка поверхности пластин полупроводников и диэлектриков диаметром до 100 мм, удаление фоторезистивных масок. Установка используется для получения микро и наноструктур с помощью плазмохимического травления. Получение микро и наноструктур для создания элементов нанофотоники, наносенсорики и микросистемной техники.

    Основные технические характеристики:
    Максимальная скорость травления кремния 7 мкм в минуту

  • Эллипсометр Woollam V-VASE

    Эллипсометр Woollam V-VASE

    Производитель: J.A. Woollam Co.

    Место расположение: Корпус 18 (Научный корпус), ауд. 205

    Назначение:
    Измерение отражения и пропускания пластин в спектральном диапазоне 250 – 1700 нм при углах падения 15? – 89?, измерение диаграммы рассеяния излучения с произвольной поляризацией. Прибор используется для исследований в области нанофотоники и исследования наноматериалов. Исследование спектров пропускания и поглощения, оптических констант и т.п., для определения оптических свойств материалов.

    Основные технические характеристики:
    Максимальное разрешение определения толщины оптических покрытий тонких пленок 1 Ангстрем

  • ИК Фурье-спектрометр Bruker Tensor 27 совмещенный с ИК микроскопом Hyperion 1000

    ИК Фурье-спектрометр Bruker Tensor 27 совмещенный с ИК микроскопом Hyperion 1000

    Производитель: Bruker Corporation

    Место расположение: Корпус 14, ауд. 113

    Назначение:
    Измерение оптических спектров пропускания и отражения в диапазоне 1330 – 27000 нм, по всей площади образца или в локальной области с помощью совмещенного микроскопа. Прибор используется для исследований в области нанофотоники и исследования наноматериалов. Исследование спектров пропускания и поглощения для определения оптических свойств материалов.

    Основные технические характеристики:
    Максимальное спектральное разрешение 1 нм.

  • Интерферометр белого света WLI-DMR

    Интерферометр белого света WLI-DMR

    Производитель: Институт Фраунгофера, г. Йена, Германия

    Место расположение: Корпус 14

    Назначение:
    Исследования поверхности пластин с разрешением до 0,2 – 0,3 нм по вертикали и до 0,4 мкм в латеральной плоскости с помощью интерферометрии белого света, измерение шероховатости. Прибор используется для определения топологии поверхности микро и наноструктур без прямого физического контакта с исследуемым образцом.

    Основные технические характеристики:
    Максимальное разрешение вдоль вертикальной оси 0.2 нм.